在對化工企業進行HAZOP分析時，其主要分析的工藝參數有：
流量、溫度、時間、頻率、電壓、混合、PH值、分離、壓力、組成、粘度、添加劑、液位、速度、信號、反應等。
對一些常用的工藝參數分析時，其可能的偏差和產生的原因參見表1。
表1 HAZOP分析工藝參數、偏差及可能原因
工藝參數 | 偏差 | 可能原因 | 工藝參數 | 偏差 | 可能原因 |
流量 | 過量(MORE) | 泵的能力增加 進口壓力增加 輸送壓頭降低 換熱器管程泄漏 未安裝流量限制孔板 系統互串 控制故障 控制閥進行了調整 啟動了多臺泵 | 流量 | 空白（NONE） | 輸送線路錯誤 堵塞 滑板不對 單向閥裝反了 管道或容器破裂 大量泄漏 設備失效 錯誤隔離 壓差不對 氣縛 |
減量（LESS） | 障礙 輸送線路錯誤 過濾器堵塞 泵損壞 容器、閥門、孔板堵塞 密度或粘度發生變化 氣蝕 排污管漏 閥門未全開 | 相逆（REVERSE） | 單向閥失效 虹吸現象 壓力差不對 雙向流動 緊急放空 誤操作 內嵌備用設備 泵的故障 泵反轉 | ||
液位 | 過量（MORE） 相當于“高” | 出口被封死或堵塞 因控制故障引起進口流 量大于出口流量 液位測量器故障 液體比重平衡 液泛 壓力湍動 腐蝕 污泥 | 液位 | 減量（LESS） 相當于“低” | 無進入流體 泄漏 出口流量大于進口流量 控制故障 液位測量器故障 容器已放空 液泛 壓力湍動 腐蝕 污泥 |
壓力 | 過量（MORE） 相當于“高” | 堵塞間題 連接到高壓設備 氣體進入 放空容積不當 設置的放空壓力不對 安全閥被封死 因加熱而超壓 控制閥因故障打開 沸騰 凍結 化學擊穿 結構 發泡 冷凝 沉淀 氣體釋放 起爆 爆炸 爆聚 外部著火 天氣條件 錘擊 粘度或密度發生變化 | 壓力 | 減量（LESS) 相當于“低” ? | 形成真空 冷凝 氣體溶解在液體中 泵或壓縮機管道受到限制 未檢測到泄漏 容器向外排物 氣動調節閥堵塞 沸騰 氣蝕 結凍 化學擊穿 閃蒸 沉淀 結構 起泡 氣體釋放 起爆 爆炸 爆聚 著火條件 天氣條件 粘度或密度發生變化 |
溫度 溫度 | 過量（MORE 相當于“高” | 環境條件 換熱器列管淤塞或有缺陷 著火情況 冷卻水出現故障 控制閥失效 加熱器控制失效 內部著火 反應控制失效 加熱介質漏入工藝過程中 儀表和控制故障 | 溫度 | 濃度不對 | 隔離閥泄漏 換熱器列管漏 原料規格不對 過程控制波動 反應生成副產品 來自高壓系統的水、蒸氣、燃料、潤滑劑、腐蝕性產品進入，氣氣體進入 |
減量（LESS） 相當于“低” | 環境條件 壓力降低 換熱器列管淤塞或缺陷 無加熱 液化氣因焦爾-湯姆遜效而使壓力降低 | 溫度 | 雜質 | 換熱器列管泄漏 | |
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